【Giơi thiệu sản phẩm】
TÍNH CHẤT VẬT LIỆU
Tham số | Đặc điểm | Phương pháp kiểm soát ASTM |
Loại / Dopant | P, Boron N, Phốt pho N, Antimon N, Asen | F42 |
Định hướng | <100>, <111> cắt giảm định hướng theo thông số kỹ thuật của khách hàng | F26 |
Hàm lượng oxy | 10 19 ppmA Dung sai tùy chỉnh theo thông số kỹ thuật của khách hàng | F121 |
Hàm lượng carbon | <0,6> | F123 |
Phạm vi điện trở suất - P, Boron- N, Photpho- N, Antimon - N, Asen | 0,001 - 50 ohm · cm | F84 |
TÍNH CHẤT CƠ HỌC
Tham số | nguyên tố | Giám sát / Kiểm tra A | Kiểm tra | Phương pháp ASTM |
Đường kính | 125 ± 0,2 mm | 125 ± 0,2 mm | 125 ± 0,5 mm | F613 |
Độ dày | 625 ± 20 Âm (tiêu chuẩn) | 625 ± 25 Lời khen (tiêu chuẩn) 500 ± 25 Lờim 1000 ± 25 Lời khen | 625 ± 50 Laum (tiêu chuẩn) | F533 |
TTV | <> | <10 đánh=""> | <> | F657 |
Cây cung | <> | <> | <> | F657 |
Bọc | <> | <> | <> | F657 |
Làm tròn cạnh | SEMI-STD | F928 | ||
Đánh dấu | Căn hộ SEMI-STD, chỉ SEMI-Flat, Jeida Flat, Notch | F26, F671 | ||
CHẤT LƯỢNG BỀ MẶT
Tham số | nguyên tố | Giám sát / Kiểm tra A | Kiểm tra | Phương pháp ASTM |
Tiêu chí mặt trước | ||||
Điều Kiện Bề MẶT | Hóa chất đánh bóng | Hóa chất đánh bóng | Hóa chất đánh bóng | F523 |
Độ nhám bề mặt | <2 a=""> | <2 a=""> | <2 a=""> | |
Ô nhiễm, hạt @> 0,3 | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Haze, hố, vỏ cam | không ai | không ai | không ai | F523 |
Saw Marks, đình công | không ai | không ai | không ai | F523 |
Tiêu chí mặt sau | ||||
Vết nứt, crowsfeet, vết cưa, vết bẩn | không ai | không ai | không ai | F523 |
Điều Kiện Bề MẶT | Caustic khắc | F523 | ||
Mô tả sản phẩm 】
Hoàn hảo cho các ứng dụng vi lỏng. Đối với các ứng dụng vi điện tử hoặc MEMS, vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thông số kỹ thuật chi tiết.
Một lượng lớn các tấm wafer được đánh bóng hai mặt trong tất cả các đường kính wafer từ 100mm đến 300mm. Nếu đặc điểm kỹ thuật của bạn không có sẵn trong kho của chúng tôi, chúng tôi đã thiết lập mối quan hệ lâu dài với nhiều nhà cung cấp có khả năng sản xuất tấm wafer tùy chỉnh để phù hợp với bất kỳ thông số kỹ thuật độc đáo nào. Tấm đánh bóng hai mặt có sẵn bằng silicon, thủy tinh và các vật liệu khác thường được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn.
Tùy chỉnh và đánh bóng cũng có sẵn theo yêu cầu của bạn. Xin cứ thoải mái liên lạc với chúng tôi.
【 Tính năng sản phẩm 】
· Loại 5 "P / N, wafer silicon được đánh bóng (25 chiếc)
· Định hướng: 125
· Điện trở suất: 0,1 - 40 ohm · cm (Có thể thay đổi theo từng đợt)
· Độ dày: 625 +/- 20um
· Prime / Monitor / Lớp kiểm tra
Chú phổ biến: Bánh wafer 5 inch (125mm), Trung Quốc, nhà cung cấp, nhà sản xuất, nhà máy, sản xuất tại Trung Quốc
